I C S71.100.20
C C S G86
中华人民共和国国家标准
G B/T40418 2021
电子特气氟甲烷
E l e c t r o n i c s p e c i a l t y g a s
F l u o r o m e t h a n e
2021-08-20发布2022-03-01实施
国家市场监督管理总局
前言
本文件按照G B/T1.1 2020‘标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则“的规定起草㊂
请注意本文件的某些内容可能涉及专利㊂本文件的发布机构不承担识别专利的责任㊂
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(S A C/T C203)提出并归口㊂
本文件起草单位：浙江省化工研究院有限公司㊁昊华气体有限公司㊁中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司㊁衢州氟硅技术研究院㊁中化蓝天氟材料有限公司㊁福建久策气体股份有限公司㊁广东华特气体股份有限公司㊁天津绿菱气体有限公司㊁江西华特电子化学品有限公司㊁苏州金宏气体股份有限公司㊁上海申南特种气体有限公司㊁上海华爱谱分析技术有限公司㊁大连大特气体有限公司㊁上海凡伟仪器设备有限公司㊁联雄投资(上海)有限公司㊁沈阳中复科金压力容器有限公司㊁浙江东开半导体科技有限公司㊁和立气体(上海)有限公司㊁昆明广瑞达特种气体有限责任公司㊁西南化工研究设计院有限公
司㊁西南化工研究设计院有限公司武汉分公司㊁西南化工研究设计院有限公司双流分公司㊂本文件主要起草人：史婉君㊁张建君㊁方小青㊁孙福楠㊁付梦月㊁侯玲玲㊁郑秋艳㊁董云海㊁谭慧㊁褚人财㊁颜光清㊁何经余㊁曹素英㊁傅铸红㊁陈艳珊㊁马建修㊁程紧㊁叶相平㊁王新喜㊁孙猛㊁陈洁㊁吴靓㊁方华㊁孙赟珑㊁何波㊁黄小强㊁黄辉㊁宫兵㊁王大为㊁易达文㊁李阳㊁梁永强㊁梁成科㊁高静㊁吴克安㊁白占旗㊁徐娇㊁叶树全㊁赖晓峰㊁方艾黎㊁周鹏云㊁张亮㊂
电子特气氟甲烷
1范围
本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求㊁检验规则㊁试验方法㊁标志㊁包装㊁运输及贮存的要求㊂本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷㊂
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款㊂其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件㊂
G B190危险货物包装标志
G B/T601化学试剂标准滴定溶液的制备
G B/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备
G B/T3723工业用化学产品采样安全通则
G B/T5099(所有部分)钢质无缝气瓶
G B/T5832.1气体分析微量水分的测定第1部分：电解法
G B/T6682分析实验室用水规格和试验方法
G B/T7144气瓶颜标志
G B/T14193液化气体气瓶充装规定
G B15258化学品安全标签编写规定
G B/T16804气瓶警示标签
G B/T28726气体分析氦离子化气相谱法
G B/T33145大容积钢质无缝气瓶
T S G R0005移动式压力容器安全技术监察规程
xujiao
T S G23气瓶安全技术规程
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义㊂
4技术要求
氟甲烷的技术要求应符合表1的规定㊂