精细化工双氧水系铜刻蚀液各向异性刻蚀机理和方法研究进展邢攸美，李潇逸，高立江，李 欢，倪芸岚，王小眉，胡 涛（杭州格林达电子材料股份有限公司，浙江杭州310000）摘 要：高精细芯片和显示集成电路主要采用铜制程，其光刻工艺中形成铜膜层结构所需用的铜刻蚀液中最主要的为双氧水系铜刻蚀液。然而双氧水系铜刻蚀液需添加控制刻蚀方向、刻蚀速率和延长刻蚀液使用寿命的相关添加剂，上述类型的添加剂研究随着铜制程的进...

看到老房子的感慨    老房子，真是一个让人怀旧的概念。尽管它有它的缺点，但也拥有着它的美丽。你想象一下，坐在房子外面的一把老椅子里，太阳温暖的洒在脸上，让你感到安逸舒服。看着老房子，久久不能自拔，凝望着它的沧桑岁月感慨万千。    老房子的外观有一种很特别的质感，比如木地板上的一点点褪，一块块破旧的砖砌，墙壁上古旧而厚重的彩绘，古旧而又彪悍的窗棂.......

专利名称：一种ICP刻蚀机林珍娜整容前专利类型：实用新型专利发明人：梁万国，李广伟，张新汉，陈怀熹，缪龙，冯新凯，邹小林申请号：CN201720416663.0申请日：20170420李依晓整容前后公开号：CN206628442U公开日：20171110专利内容由知识产权出版社提供摘要：本实用新型涉及一种ICP刻蚀机，包括竖直截面为U字形的底座和与底座铰接的可开合的上盖；上盖内设置有工作气体进气口...

附:  缩略语中英文对照表A ACF              Anisotropic Conductive Film                  各向异性导电薄膜ADC       ...

A ACF              Anisotropic Conductive Film                  各向异性导电薄膜ADC          Analog-Di...