双氧水系铜刻蚀液各向异性刻蚀机理和方法研究进展
精细化工双氧水系铜刻蚀液各向异性刻蚀机理和方法研究进展邢攸美,李潇逸,高立江,李 欢,倪芸岚,王小眉,胡 涛(杭州格林达电子材料股份有限公司,浙江杭州310000)摘 要:高精细芯片和显示集成电路主要采用铜制程,其光刻工艺中形成铜膜层结构所需用的铜刻蚀液中最主要的为双氧水系铜刻蚀液。然而双氧水系铜刻蚀液需添加控制刻蚀方向、刻蚀速率和延长刻蚀液使用寿命的相关添加剂,上述类型的添加剂研究随着铜制程的进...
精细化工双氧水系铜刻蚀液各向异性刻蚀机理和方法研究进展邢攸美,李潇逸,高立江,李 欢,倪芸岚,王小眉,胡 涛(杭州格林达电子材料股份有限公司,浙江杭州310000)摘 要:高精细芯片和显示集成电路主要采用铜制程,其光刻工艺中形成铜膜层结构所需用的铜刻蚀液中最主要的为双氧水系铜刻蚀液。然而双氧水系铜刻蚀液需添加控制刻蚀方向、刻蚀速率和延长刻蚀液使用寿命的相关添加剂,上述类型的添加剂研究随着铜制程的进...
白衣服变黄了有什么方法去掉 1、滴墨水法:在一盆干净的凉水中,滴3-5滴纯蓝墨水,用手搅匀,然后把洗漂干净的白衬衫放进水中,上下提拉3-5次,捞出晾干。 2、加双氧水法:漂白丝、毛织物,可用3%浓度的双氧水,液量为织物重量的10倍,另加少许氨水使其带弱碱性,在一般室温下浸漂5-10小时后,洗净晾干。 3、加柠檬汁法:洗白丝织物时,在水里加点柠檬汁,可使衣物更...
染膏中双氧水的作用染发剂颜双氧水是一种强氧化剂,具有消毒和漂白作用。在染膏中,双氧水可以起到以下作用:1. 漂白作用:双氧水能够去除染膏中的颜,使其变得更浅或完全褪。这是因为双氧水能够分解染料分子,使其失去素特性。2. 消毒作用:双氧水具有杀菌作用,可以有效地消灭染膏中可能存在的细菌、病毒和其他微生物。这可以帮助减少染发过程中可能引发的感染风险。3. 清洁作用:双氧水可以去除染膏残留,使头...
一、事故调查分析(一)事故概要1、事故简介2012年8月25日18时46分,山东国金化工厂双氧水车间在生产时发生爆炸事故,造成3人死亡、7人受伤,直接经济损失约750万元。2、事故原因(1)直接原因铝催化剂及白土床中氧化铝粉末随氢化液进入到氧化塔中,引起双氧水分解,使塔内压力、温度升高。紧急停车后,氧化塔内压力、温度、液位升高,未采取排料、泄压等有效措施,高温、高压导致氧化塔上塔爆炸。(2)间接原...
过氧化氢基本知识编制 技术组过氧化氢二OO四年六月 全系统问答一、双氧水的主要性质是什么? 双氧水化学名称是过氧化氢,分子式:H2O2 分子量:34.016 物理性质: &...