关于塑封元器件声学扫描显微镜检查标准的探讨张国强1，宋婉潇2，朱俊琦2(1.西安明德理工学院，陕西西安710124;高澄2.西安西谷微电子有限责任公司，陕西西安710124)摘要：首先，对利用声学扫描显微镜检查塑封元器件时所依据的国内外主要的几个标准进行了说明，分别指出了国内外标准中存在的问题，并对关于声学扫描显微镜检查的国内外两种判据的差异进行了比对；然后，举例说明了利用声学扫描显微镜检查同一器...