基于MEMS电容式加速度计的闭环读出电路设计
第34卷第2期传感技术学报Vol.34No.2 2021年2月CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS Feb.2021Design of Closed-Loop Readout Circuit Based onMEMS Capacitive Accelerometer*XU Jiao1,ZHANG Yulong2,YANG ZHongbao,2WU Cin...
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