Equipment Manufacturing Technology No.06，2018氮化硅作为一种性能优异的陶瓷材料，具有密度低，硬度高，耐磨损，导热能力强等优异的物理性能以及抗氧化性，抗腐蚀性（尤其是除了HF外的无机酸）的高化学稳定性能等，因此在机械、电子等众多领域占据了重要的地位。目前关于氮化硅的研究已取得了丰硕的成果，文怀兴等人[1]研究了氮化硅陶瓷轴承润滑技术，张传伟[2]研究了以球...