文章编号：1001－9731（2016）增刊（Ⅱ）－125－05扩散阻挡层用WTi合金的制备及其表征*张俊敏，闻明，谭志龙，王传军，沈月，易伟，管伟明，李艳琼（昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明650106）摘要：WTi合金具有低的电阻系数、良好的热稳定性能和抗氧化性能，已被成功地应用于半导体器件的扩散阻挡层。迄今为止，中国大量半导体行业用靶材仍从国外进口。因此，通过研究靶...