扩散阻挡层用WTi合金的制备及其表征
文章编号:1001-9731(2016)增刊(Ⅱ)-125-05扩散阻挡层用WTi合金的制备及其表征*张俊敏,闻明,谭志龙,王传军,沈月,易伟,管伟明,李艳琼(昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室,昆明650106)摘要:WTi合金具有低的电阻系数、良好的热稳定性能和抗氧化性能,已被成功地应用于半导体器件的扩散阻挡层。迄今为止,中国大量半导体行业用靶材仍从国外进口。因此,通过研究靶...
2024-05-16 36 0
文章编号:1001-9731(2016)增刊(Ⅱ)-125-05扩散阻挡层用WTi合金的制备及其表征*张俊敏,闻明,谭志龙,王传军,沈月,易伟,管伟明,李艳琼(昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室,昆明650106)摘要:WTi合金具有低的电阻系数、良好的热稳定性能和抗氧化性能,已被成功地应用于半导体器件的扩散阻挡层。迄今为止,中国大量半导体行业用靶材仍从国外进口。因此,通过研究靶...
张馨予被疑有孕美国Aqua-Chem公司生产的热压式水机与我集团使用的多效水机对比情况(*****)一、 **集团蒸馏水机情况:哇组词语 **集团现有蒸馏水机16台,规格从1吨至5吨不等,多数为国产设备。蒸馏水制备形式主要为列管式多效蒸发式,主要消耗能源为高压工业蒸汽,最大产水量只能是5吨,效数最多可以到6效,设计为压力容器。以中诺302车间为例:使用两台5吨/小时六效式...