Zeiss-Supra55扫描电子显微镜简明操作指南
一、开机启动
1、 按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：zeiss
2、 启动SmartSEM软件。
用户名：system          密码： 无     
3、 检查真空值。
二、换样品(换样或加高压观察样品)
1、 装试样。
在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。
注意：各样品观察点高度基本一致。确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。
2、 关高压。
3、 检查插入式探测器状态
打开TV，将EBSD等插入式探测器拉出。
4、 放气。
点Vent等待3-5 分钟。
注意：确认Z move on vent选上，这样，放气时样品台会自动下降。
5、 拉开舱门。
注意：拉开舱门前，确认样品台已经降下来，周围探测器处于安全位置。
6、 更换样品座
注意：抓样品座时戴手套，避免碰触样品。
7、 关上舱门。
注意：舱门上O圈有时会脱落，关门时勿夹到异物。
8、 抽真空。
点击Pump，等待真空就绪(留意Vacuum面板上真空状态)，等待3-5分钟。
注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。
      当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝（Gun  On），左下角Ready。
等待过程中，可先移动样品台初步定位样品。
9、 换样完成。
加高压，观察样品台TV
三、成像过程
1、 定位样品。
打开TV，移动样品台。升至工作距离约在8~10mm处，平移对准样品。可打开stage navigation帮助定位。
2、 开高压。
根据检测要求和样品特性，设定加速电压；
3、 观察样品，定位观察区。
全屏快速扫描（点击工具栏上    ）；
选择Inlens或SE2探头；
缩小放大倍数至最小；
聚焦并调整亮度和对比度（Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine）；
读取WD数值；
必要时升降样品台，WD常用8-10mm；
移动样品台X、Y，或使用Centre Point(Ctrl+Tab键)定位；  
聚焦、放大至～5kX、再聚焦、定位；
4、 ##必要时，调光阑对中。（由主管教师调试，学生不得乱动！！）
选区快速扫描， Aperture面板上，选上Wobble，调Aperture X和Y，消除图像水平晃动。完成后取消Wobble。
5、 ##消像散。（由主管教师调试，学生不得乱动！！）
选区扫描，依次调Stigmation X、Y和聚焦，直到图像最清晰。
6、 成像。
进一步放大至～50kX、并进一步聚焦和消像散；
全屏扫描，调亮度和对比度；
用Beam Shift拍一拍设置后缀或Ctrl＋Tab定位成像位置；
点击Mag设置所需放大倍数；
Scanning面板选择消噪模式（一般用Line Avg）；选择扫描速度和N值（使cycle time在40s左右为宜）；
确认Freeze on＝end frame；点击Freeze；等待扫描完成。
7、 存储。
点击鼠标中键（滚轮）或右键，弹出快捷菜单→Send to→Tiff file；
设置文件夹，取文件名，设置文件名后缀，点Save；
同一样品图片再次存储，直接左键点击工具栏上    按钮。
存储结束后，点击unfreeze，点击    快速扫描。
三、关机步骤
1、 平时待机：关闭高压(EHT),抽真空点击Pump即可。
2、 关闭SmartSEM软件。
注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。
3、 关Windows。
4、 必要时，关能谱、EBSD。
5、 按下黄键
此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。
四、基本应用
1、 制样技巧。
要求样品干燥；各样品观察点高度基本一致；确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下；高真空模式观察需确保样品导电性和接地。
干燥方法：对一般潮湿样品，直接晾干或用烘箱烘干。
对生物样品，先用液氮冷冻后，再用冷冻干燥仪干燥。
固定方法：对一般块体样品，用碳胶带粘在样品桩上。也可用带弹簧夹的样品座夹住。
导电处理：不导电样品高真空模式下观察，一般需蒸碳或镀金，由史淑艳老师负责。
2、 EHT选择。
对于重元素样品，一般选择EHT>5kV，以获得较好分辨率。
对于轻元素样品，为减小电子穿透深度，可选择EHT<5kV，以增加浅表面信号。
3、 探测器应用特点。
探测器
EHT
WD
成像特点
Inlens
≤20kV
8～10mm
具有边缘效应，分辨率高，适用于高倍成像，低EHT效果好
SE2
无限制
>10mm
具有阴影效应，立体感较好，低倍效果好
AsB
一般≥10kV
8～10mm
反应元素衬度
AsB背散射探测器使用步骤。
先使用Inlens或SE2探测器调好图像，再切换至AsB探测器，
打开BSD控制界面（菜单栏Detection→BSD control），设置BSD gain=High；
对比度需在80％左右。
4、 光阑选择。
30um标准光阑：束流强度适中，分辨率最好，适用于拍高倍图像。另外，低EHT效果较好。
60、120um光阑：束流较强，分辨率稍差，适用于拍低倍图像和采集EDX、EBSD谱。
五、常见问题
问题
解决方案
样品台无法移动
做初始化。若初始化长时间不结束，Stage面板上点Stage stop，报告蔡司服务工程师。
样品台移动无法停止
样品台状态一直是Busy
按F12或操纵杆上Break键强制停止。检查操纵杆能否复位，并尝试禁用操纵杆。
抽真空时间太长
放气，取出样品，检查样品仓门O圈，重新抽真空。若15分钟内未能到就绪状态，报告蔡司服务工程师。
循环水冷机报警
检查水位，加水，按Res键。若缺水报警频繁，有漏水，报告蔡司服务工程师。
电子真空较差
Gun vacuum难以抽到5×10-9mBar以下，需做烘烤。
灯丝正常工作时，Gun vacuum一般小于5×10-9mBar
电脑死机
按下黄键待机，等待～20s后，再按绿键重启，一般重启后需做样品台初始化。
图像漂移
样品表面导电性或接地不好，重新制样，可蒸碳或镀金改善导电性。
高倍图像有锯齿
场地有振动或磁场干扰，也可能减震气垫系统漏气。
图像无法存盘
清理磁盘。鼠标右键点击C盘→属性→清理磁盘，删除所有垃圾文件。
停电
停电前关机。若停电时间较短，UPS电量够用，可关至待机状态。
六、日常维护
检查内容
周期
说明
房间温度
每天
记录，严格控制在17～25ºC
房间湿度
每天
记录，相对湿度<65%
房间卫生
每周
清理房间灰尘
系统真空极限值
每周
记录，极限系统真空值<5×10-6mBar
电子真空
每周
记录，灯丝开时Gun vacuum<5×10-9mBar
引出电流
每周
记录EHT开关前后引出电流值，EHT=10kV
抽真空时间
每月
测试并记录，由放气状态抽到就绪状态的时间。一般不超过10分钟。
样品仓
每月
检查清理，样品仓内或样品台上若有异物，可用吸尘器清理，或用无尘布擦。注意勿碰触探测器。
样品台初始化
每月
若发现样品台导航器或坐标值不准确，立即做样品台初始化。
氮气
每月
出口输出气压0.2～0.3Bar
空气压缩机
每季
出口输出气压5～6 Bar
循环水冷机
每季
检查水位。打开水箱旋钮，检查并加水。
工作时，水压在2～3Bar，水温在18～22ºC
油式真空泵
每季
检查油位，必要时，加油。
电脑
每年
整理文件夹；清理磁盘，删除所有临时文件和旧压缩文件。
附录一、专业词汇
Airlock 样品交换室
Annotation 标注
Aperture 光阑
Bakeout 烘烤
Column 镜筒
Column chamber valve, Column Isolation valve (CIV) 镜筒隔离阀
Cycle time 扫描循环时间
EHT 加速电压
Emission 发射像
Extractor 引出电极
Focus wobble 聚焦摇摆
Freeze 冻结图片、停止扫描
LUT (look up table) 信号变换关系
Normal 全屏正常扫描
Reduced 选区扫描
Stigmation 像散
Vacuum (Vac) 真空
WD (working distance) 工作距离(电子束焦点与镜筒底端间的距离)