专利名称：Being vacuum 发明人：小林 正彦，高橋 信行申请号：JP1998020262
申请日：19980116
公开号：JP4039645B2
公开日：
20080130
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：Array
申请人：キヤノンアネルバ株式会社，東京エレクトロン株式会社
地址：神奈川県川崎市麻生区栗木２－５－１，東京都港区赤坂五丁目３番６号国籍：JP,JP
柏木由纪下海
代理人：保立 浩一
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