专利名称：一种CMP研磨垫及CMP研磨装置专利类型：发明专利
冰箱保鲜室结冰发明人：金泰源，张月，杨涛，卢一泓，刘青
申请号：CN202011257722.7
申请日：20201111
初十十全十美祝福语句公开号：CN114473856A
公开日：小学二年级下学期班主任工作总结>锦心似玉秦姨娘
四年级班主任计划20220513
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明提供了一种CMP研磨垫及CMP研磨装置，该CMP研磨垫包括一个圆盘状的研磨垫。还包括设置在研磨表面上的多个圆环形沟槽，多个圆环形沟槽呈同心圆状由研磨垫的中心向研磨垫的边缘依次排布。研磨表面划分为N个研磨区。该N个研磨区包括位于研磨垫中心处且呈圆形第一研磨区，还包括呈同心圆状由研磨垫的中心向边缘依次排布的第二研磨区至第N研磨区。第二研磨区至第N研磨区中的每个研磨区上均穿设有连通该研磨区上任意相邻的两个圆环形沟槽的通孔。通过在第二研磨区至第N研磨区中的每个研磨区上均穿设有通孔，调节不同研磨区中研磨液的量，改善CMP 工序中晶圆表面成膜图形的均匀性，提高良率。
申请人：中国科学院微电子研究所，真芯(北京)半导体有限责任公司
吴亚馨
地址：100029 北京市朝阳区北土城西路3号
国籍：CN
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