(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书 | ||
古力那扎 (10)申请公布号 CN 112820807 A (43)申请公布日 2021.05.18 | ||
(21)申请号 CN201911118028.4
(22)申请日 2019.11.15
(71)申请人 山东浪潮华光光电子股份有限公司
地址 261061 山东省潍坊市市辖区高新区金马路9号
(72)发明人 徐晓强 林伟 魏朝 彭璐 闫宝华
(74)专利代理机构 37219 济南金迪知识产权代理有限公司
代理人 赵龙
(51)Int.CI
H01L33/22(20100101)
H01L33/00(20100101)
权利要求说明书 说明书 幅图 |
(54)发明名称
(57)摘要
擦护肤品的正确步骤 本发明涉及一种表面粗化的LED芯片制备方法,该制备方法包括步骤如下:(1)在GaAs外延片的表面蒸镀ITO颗粒;(2)在焊盘表面涂覆正性光刻胶;(3)将GaAs外延片放入到ICP刻蚀机中进行粗化;(4)去除掉正性光刻胶;(5)在GaAs外延片的表面生长电流扩展层,再进行退火处理;(6)对GaAs外延片的衬底进行减薄;(7)在减薄后的GaAs外延片的背面生长N面电极;(8)在GaAs外延片的表面制备负性光刻胶电极图形;(9)在GaAs外延片的表面蒸镀金属电极,制备P面电极。本发明提供制备方法步骤简单,成本低,粗化效果好,可以达到纳米级别,发光亮度提升10%‑15%之间。 | |
法律状态
法律状态公告日 | 法律状态信息 | 法律状态 |
2021-05-18 | 公开 | 公开 |
有关亲情的作文600字 2021-06-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
2023-07-18 | 发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):H01L33/22专利申请号:2019111180284申请公布日:20210518 | 发明专利申请公布后的驳回 |
权 利 要 求 说 明 书
【一种表面粗化的LED芯片制备方法】的权利说明书内容是......请下载后查看
说 明 书
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