(19)中华人民共和国国家知识产权局
工商银行信用卡积分兑换(12)发明专利说明书
(10)申请公布号 CN 113035591 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 CN202110290502.2
(22)申请日 2021.03.18
(71)申请人 郑爽怎么回事清华大学
    地址 100084 北京市海淀区精密仪器系9003楼4504室
(72)发明人 尹亚江 王晓峰 尤政
(74)专利代理机构 11001 北京国林贸知识产权代理有限公司
    代理人 李富华
(51)Int.CI
      H01G11/86(20130101)北京旅游景点排名
      H01G11/26(20130101)
      H01G11/28(20130101)
                                                                  权利要求说明书 说明书 幅图
唐宁老公邓伟杰(54)发明名称
      微型超级电容器的三维叉梳微柱阵列电极结构制备方法
(57)摘要
团员自我鉴定
      本发明公开了属于微能源器件制作技术领域的一种微型超级电容器的三维叉梳微柱阵列电极结构制备方法，所述微型超级电容器采用ICP刻蚀工艺，设计制备出叉梳式微柱阵列电极结构，在叉梳电极结构表面溅射一层金作为集流体，继而在金表面沉积活性电极薄膜，制备出对称式微型MEMS超级电容器。通过叉梳式微柱阵列电极结构，有效提升了电极比表面积，降低了电极间阻抗，有利于其他MEMS器件的集成，为MEMS微系统可靠供电，拓宽了微型超级电容器的应用场合。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2021-06-25
公开
公开
2021-07-27
实质审查的生效
实质审查的生效
2022-12-16
发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):H01G11/86专利申请号:2021102905022申请公布日:20210625
发明专利申请公布后的驳回
权 利 要 求 说 明 书
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说  明  书来自星星的你 宋茜
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