100级洁净室如何规划空调系统的方案
100级洁净室（包括清洗房）的空调方式采用新风处理机组+空气处理机组+带风机的高效过滤器的空调方式。
新风机组内设置变频风机，既可以控制洁净室的正压，同时也可以减小室外环境变化对洁净室的影响，对洁净室的温、湿度控制有利。一楼主洁净室共设有3台新风处理机组，新风处理总量为30000m3/h，新风处理到低于室内空气含湿量的状态点；空气处理机组如何清洗空调5台，空气处理总量为394000m3/h。
二楼主洁净室共设新风处理机组3台，新风处理总量为39500m3/h；空气处理机组10台，空气处理总量为616000m2/h。
每个车间均为独立空调系统，净化空调机组将回风与新风机组处理过的新风混合，经过滤、冷却、加湿等处理后，送至洁净室吊顶内与回风混合，然后经带风机的高效空气过滤器送到室内；生产设备的局部排风由排风机排至室外。
洁净室气流组织为上送下回式单向流，顶棚上基本满布高效空气过滤器送风，地板采用开孔率
为18%的架空地板，部分地板有调节阀，以调节气流的流型。